La tecnologia TFT è stata sviluppata negli anni '90. Adotta nuovi materiali e nuovi processi per la tecnologia di produzione di circuiti completamente integrati a semiconduttore su larga scala. Viene utilizzato per display a schermo piatto a cristalli liquidi (LC), inorganici e organici a elettroluminescenza a film sottile (EL e OEL). base. TFT è un wafer non singolo come un substrato di vetro o plastica (ovviamente può anche essere su un wafer) attraverso processi di sputtering e deposizione chimica per formare vari film necessari per circuiti di produzione e circuiti integrati a semiconduttore su larga scala (LSIC ) sono prodotti dalla lavorazione delle pellicole. . L'uso di substrati non monocristallini può ridurre notevolmente i costi ed è un'estensione dei tradizionali circuiti integrati su larga scala a direzioni di ampia area, multifunzione ea basso costo. È tecnicamente più difficile produrre TFT che controllano le prestazioni di commutazione dei pixel (LC o OLED) su substrati di vetro o plastica di grandi dimensioni piuttosto che produrre circuiti integrati su larga scala su wafer di silicio. I requisiti per l'ambiente di produzione (il grado di purificazione è 100), i requisiti per la purezza delle materie prime (la purezza del gas speciale elettronico è 99,999985%) e i requisiti per le apparecchiature di produzione e la tecnologia di produzione superano l'integrazione su larga scala dei semiconduttori . È il top della moderna produzione su larga scala. tecnologia. Le sue caratteristiche principali sono:
(1) Ampia area: la linea di produzione TFT-LCD di substrato di vetro di ampia area (300 mm × 400 mm) di prima generazione è stata messa in produzione all'inizio degli anni '90. Entro la prima metà del 2000, l'area del substrato di vetro era stata ampliata a 680 mm × 880 mm e la dimensione del substrato di vetro era di 950 mm × 1200 mm. Verrà messo in funzione anche il substrato di vetro. In linea di principio, non ci sono limiti di area.
(2) Elevata integrazione: il chip TFT da 1,3 pollici utilizzato per la proiezione a cristalli liquidi ha una risoluzione di XGA contenente milioni di pixel. Lo spessore del film del silicio amorfo array TFT da 16,1 pollici con una risoluzione di SXGA (1280 × 1024) è di soli 50 nm e le tecnologie TAB ON GLASS e SYSTEM ON GLASS, l'integrazione del suo circuito integrato, i requisiti per le apparecchiature e la tecnologia di fornitura , e la difficoltà tecnica Tutti superano il tradizionale LSI.
(3) Funzioni potenti: TFT è stato utilizzato per la prima volta come circuito di localizzazione della matrice per migliorare le caratteristiche della valvola luminosa dei cristalli liquidi. Per i display ad alta risoluzione, attraverso la regolazione della tensione nell'intervallo 0-6 V (tipicamente da 0,2 a 4 V), si ottiene un controllo preciso dell'oggetto, consentendo agli LCD di ottenere display di alta qualità e ad alta risoluzione. TFT-LCD è il primo display a schermo piatto nella storia umana che supera il CRT in termini di qualità di visualizzazione. E le persone iniziano a integrare il driver IC sul substrato di vetro e la funzione dell'intero TFT sarà più potente, il che non ha eguali nei tradizionali circuiti integrati a semiconduttore su larga scala.
(4) Basso costo: il substrato di vetro e il substrato di plastica risolvono fondamentalmente il problema dei costi dei circuiti integrati a semiconduttore su larga scala e aprono un ampio spazio di applicazione per l'applicazione di circuiti integrati a semiconduttore su larga scala.
